高軻
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PI 壓電彎曲掃描儀
XYZ壓電彎曲掃描儀
PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實(shí)證明,沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導軌,導向精度高
撓性導板無(wú)維護,無(wú)摩擦和無(wú)磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可以在寬溫度范圍內工作。
平行位置測量,在納米范圍內具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考??梢詫?shí)時(shí)地(取決于帶寬)主動(dòng)補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動(dòng)串擾(主動(dòng)引導)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。
型號展示:
壓電撓曲XYZ定位器和掃描儀
P-733.3 XYZ壓電納米定位器
高精度XYZ光圈掃描儀
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運動(dòng)壓電系統,用于納米定位和光纖對準
P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統
緊湊的多軸壓電系統,用于納米定位和光纖對準
P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺
高精度納米定位器,最多可容納3個(gè)軸
P-517•P-527多軸壓電掃描儀
高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀,具有直接位置測量功能
用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀
P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統
用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統
P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統
電容位置測量,用于超高分辨率顯微鏡
P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統
快速XY(Z)平臺用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡
緊湊型精密XYZ納米掃描儀
P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
高動(dòng)態(tài)納米定位系統,用于掃描探針顯微鏡
P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀
皮克計精度高帶寬,用于掃描探針顯微鏡
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀