Physik Instrumente位移臺應用領(lǐng)域

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納米定位壓電彎曲平臺

微型舞臺

線(xiàn)性平臺

線(xiàn)性執行器

旋轉臺

XY平臺

PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個(gè)軸上以亞納米精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應用包括樣品調整，技術(shù)，光學(xué)計量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統均已在工廠(chǎng)校準，并隨測量記錄一起提供。

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操作

·         圖像處理/穩定

·         納米定位具有很高的平面度和運動(dòng)平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性，長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

適用于復雜的真空應用

壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實(shí)現極低的除氣率。

PICMA®壓電執行器，使用壽命長(cháng)

獲得專(zhuān)利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)（取決于帶寬）主動(dòng)補償（主動(dòng)引導）軸之間的不良串擾。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。

P-733.3CD

P-733.3CL       

P-733.3DD

應用領(lǐng)域：

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·         Physik Instrumente  M-235.5DG

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