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| 品牌BUSCH | 有效期至長期有效 | 最后更新2020-09-30 10:43 |
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BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G
BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G
BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G
先進的螺絲設計
高效：
經濟高效，維護最少，正常運行時間長
靈活：
面向應用
流程時間短：
由于抽速高
堅固：
內部組件上有防腐蝕涂層
設計緊湊
COBRA DS 0080/0160 G是成熟的COBRA DS系列中的干螺桿真空泵。即使在要求高氫氣通過量的條件下，它們的高抽速也使COBRA DS螺桿真空泵成為光伏電池，平板顯示器和半導體生產中所有苛刻過程的理想選擇。最先進的COBRA DS螺桿真空泵技術可將粉狀和顆粒狀介質排空。
COBRA DS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專門開發的螺桿輪廓和無阻礙的氣體排放。結果是高度的蒸汽和顆粒耐受性。螺釘由一體式鑄件制成??，避免了任何間隙，從而使過程流體或顆粒無法進入，從而防止了腐蝕。
配備高效電機，COBRA DS 0080/0160 G具有出色的能源效率。由于維護需求低，運營成本低，正常運行時間長且生命周期長，因此總擁有成本非常低，因此在此性能級別中樹立了標準。
由于采用了就地安裝設計，因此可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝為現有系統。
應用領域
高密度等離子CVD（HDP-CVD）
快速熱處理（RTP）
低于大氣壓CVD（SACVD）
金屬有機CVD（MOCVD）
等離子增強CVD（PECVD）
低壓CVD（LPCVD）
原子層沉積（ALD）
技術說明
技術規格COBRA DS氣缸
內的兩個螺桿轉子沿相反方向旋轉。泵送的介質被截留在氣缸和螺旋腔之間，被壓縮并輸送到出氣口。在壓縮過程中，螺桿轉子不會相互接觸
其他或圓柱體。因此，在壓縮室中不需要潤滑劑或工作流體。COBRA DS系列真空泵使用高效的間接水冷技術，可在整個泵體內實現可控的溫度分布，并能夠響應工藝變化。先進的螺桿設計可實現極高的抽氫速度。
尺寸
COBRA DS 0080/0160 G
抽速
空氣在20°C。公差：±10％ 50赫茲 60赫茲
| 技術參數 | COBRA DS 0080 G | COBRA DS 0160 G |
|---|---|---|
| 額定抽速 | 70立方米/小時 | 140立方米/小時 |
| 極限壓力 | 0.03（3·10 -2） hPa（毫巴） | 0.03（3·10 -2） hPa（毫巴） |
| 電機額定功率 | 4.0千瓦 | 5.5千瓦 |
| 電機額定轉速 | 3000分鐘-1 | 3000分鐘-1 |
| 極限壓力時的功耗 | 2.6千瓦 | 4.3千瓦 |
| 噪聲等級 (ISO 2151) | <62分貝（A） | <68分貝（A） |
| 用水量 | 4.0升/分鐘 | 4.0升/分鐘 |
| 氮氣消耗量 | 0-75升/分鐘 | 0-75升/分鐘 |
| 重量（約） | 276公斤 | 338公斤 |
| 尺寸（長 x 寬 x 高） | 865 x 385 x 667毫米 | 975 x 425 x 697毫米 |
| 進氣口/排氣口 | DN 40 / DN 40 | DN 50 / DN 40 |
BUSCH 螺桿真空泵COBRA DS 0080/0160 G
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