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        北京漢達森機械技術(shù)有限公司
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        PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數

            

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        品牌PI 有效期至長(cháng)期有效 最后更新2021-04-23 13:51
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        PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數

          PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數

        P-363 筆克管 XY (Z) 皮佐掃描儀

        用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位器

        · 用于自動(dòng)對焦 /SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀

        · 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具

        · 共振頻率 9.8 kHz,PI動(dòng)態(tài)納米定位器吳亞男用于特別快速的掃描

        · 引導誤差自動(dòng)補償的并行測量技術(shù)

        · 分辨率 50 象形儀

        · 旅行范圍 5 μm × 5 μm × 5 μm

         

         PI動(dòng)態(tài)納米定位器

         

        P-363.3CD

        P-363.2CD

        單位

        浮動(dòng)值

        活動(dòng)軸

        X、Y、Z

        X, Y

         

         

        運動(dòng)和定位

         

         

         

         

        集成傳感器

        電容的

        電容的

         

         

        旅行范圍在 X, Y 在 -250 到 +250 V, 打開(kāi)循環(huán)

        ±3

        ±3

        μm

        20%

        Z 中的旅行范圍為 -250 至 +250 V,打開(kāi)環(huán)路

        ±2.7

        -

        μm

        20%

        X、Y、閉環(huán)旅行范圍

        ±2.5

        ±2.5

        μm

         

        Z 中的旅行范圍,閉環(huán)

        ±2.5

        -

        μm

         

        分辨率,打開(kāi)循環(huán)*

        0.03

        0.03

        納米

        泰普

        分辨率,閉環(huán)

        0.1

        0.1

        納米

         

        線(xiàn)性錯誤

        0.05

        0.05

        %

        泰普

        可重復性**

        1

        1

        納米

        泰普

        投/偏航在X,Y

        0.5

        0.5

        烏拉德

        泰普

        以 Z 中運動(dòng)傾斜

        0.2

        -

        烏拉德

        泰普

        X、Y中的直度

        3

        3

        納米

        泰普

        X、Y中的平整度

        •lt:10

        •lt:10

        納米

        泰普

        Z中運動(dòng)的相聲

        5

        -

        納米

        泰普

        機械特性

         

         

         

         

        X,Y中的共振頻率,卸載

        3.1

        4.2

        千 赫

        ±20%

        Z中的共振頻率,卸載

        9.8

        -

        千 赫

        ±20%

        X、Y負載下的共振頻率

        1.5 (20 克)

        2.1 (20 克)

        千 赫

        ±20%

        負載容量

        10

        10

        N

        max

        陶瓷類(lèi)型

        皮卡, 皮卡剪

        皮卡剪切

         

         

        雜項

         

         

         

         

        工作溫度范圍

        -20 至 80

        -20 至 80

        °C

         

        材料

         

         

        尺寸

        30 毫米× 30 毫米× 40 毫米

        30 毫米× 30 毫米× 28 毫米

         

         

        質(zhì)量

        225

        190

        g

        ±5%

        電纜長(cháng)度

        1.5

        1.5

        m

        ±10毫米

        傳感器/電壓連接器

        D-子 24W7 (m)

        D-子 24W7 (m)

         

         

        推薦電子產(chǎn)品

        E-536

        E-536

         

         

         

        應用范圍

        · 掃描探針顯微鏡

        · 原子力顯微鏡

        · 掃描和篩選

        由于零播放彈性指南,指導精度高

        Flexure 指南不含維護、摩擦和磨損,不需要潤滑。PI動(dòng)態(tài)納米定位器吳亞男 它們的剛度允許高負載容量,并且對沖擊和振動(dòng)麻木不仁。它們 100% 真空兼容,在寬溫范圍內工作。

        由于平行位置測量,納米范圍內的跟蹤精度很高

        所有自由度都是用一個(gè)固定的參考來(lái)衡量的。PI動(dòng)態(tài)納米177定1858位3804器軸之間不受歡迎的相聲可以實(shí)時(shí)(取決于帶寬)得到積極補償(主動(dòng)引導)。即使在動(dòng)態(tài)操作中,納米范圍內也會(huì )實(shí)現高跟蹤精度。

        帶電容傳感器的子納米分辨率

        電容式傳感器在不接觸的情況下使用亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了 kHz 范圍內出色的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和帶寬。

        自動(dòng)配置和快速組件交換

        力學(xué)和控制器可以根據需要進(jìn)行組合并快速交換。PI動(dòng)態(tài)納米177定1858位3804器 所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在力學(xué) D 子連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí),數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

         PI位移臺

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        吳亞男
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        PI動(dòng)態(tài)納米定位器P-363系列參數
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          2. <samp id="0cu5s"></samp>