pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀：
用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位器
用于 AFM / SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀
用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具
共振頻率 9.8 kHz 用于特別快速的掃描
自動(dòng)補償導向誤差的平行測量技術(shù)
分辨率 50 皮米
行程 5 µm × 5 µm × 5 µm
pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀
應用領(lǐng)域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描篩選
零間隙撓性導軌實(shí)現高導向精度
撓性導軌免維護、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們 100% 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內工作。
由于平行位置測量，在納米范圍內具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據一個(gè)單一的固定參考來(lái)測量的。軸之間不需要的串擾可以實(shí)時(shí)（取決于帶寬）主動(dòng)補償（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。
具有電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無(wú)需接觸。它們保證出色的運動(dòng)線(xiàn)性度、長(cháng)期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。
自動(dòng)配置和快速組件更換
機械和控制器可以根據需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械裝置 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。
pi-P-363 PicoCube XY(Z) 壓電掃描儀
申紫東
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