德國 Physik Instrumente P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

 

在過(guò)去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng )業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機始終保持不變：為客戶(hù)找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來(lái)一直是全球精密定位技術(shù)市場(chǎng)的領(lǐng)導者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內部的團隊精神，其基礎是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。

PI是一家擁有健康增長(cháng)的私營(yíng)公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個(gè)靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿(mǎn)足創(chuàng )新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。

PI的首要任務(wù)是成為客戶(hù)的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運動(dòng)和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應商。

 

應用領(lǐng)域

六腳架支持工業(yè)機器人科學(xué)儀器

半導體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學(xué)

醫療技術(shù)

材料研究

機械工業(yè)

自動(dòng)化

梁線(xiàn)儀器

添加劑制造

主動(dòng)對準

 

部分產(chǎn)品分類(lèi)及介紹

 

納米定位壓電撓性位移臺

PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導向精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統中的應用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達6的自由度下可達到幾百赫茲。

專(zhuān)有傳感器設計，無(wú)摩擦撓性導軌和長(cháng)壽命PICMA®壓電執行器的獨特結合，使機器具有出色且堅固的機械性能。壓電運動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過(guò)數字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。

 

1.多軸壓電撓性位移臺

PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達6個(gè)軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應用包括樣品調整，技術(shù)，光學(xué)計量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統均已出廠(chǎng)校準，并隨測量記錄一起提供。 

 

P-616NanoCube®納米定位器

緊湊的并聯(lián)運動(dòng)壓電系統，用于納米定位和光纖對準

應用領(lǐng)域：

光纖定位和對準

掃描顯微鏡

2-光子聚合

納米技術(shù)與納米制造

光子學(xué)/集成光學(xué)

顯微操作

樣品定位

 

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性，長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

適用于復雜的真空應用

壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實(shí)現極低的脫氣率。

PICMA®壓電執行器，使用壽命長(cháng)

專(zhuān)利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。已證明沒(méi)有任何故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。

通過(guò)并聯(lián)運動(dòng)學(xué)實(shí)現高動(dòng)態(tài)多軸運行

在并聯(lián)運動(dòng)多軸系統中，所有執行器都作用在一個(gè)公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設計允許快速，動(dòng)態(tài)且仍然精確的運動(dòng)。

 

P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位儀

應用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

 

零游隙撓性導軌，導向精度高

撓性導板無(wú)維護，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。

平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準進(jìn)行測量。軸之間不需要的串擾可以實(shí)時(shí)（根據帶寬）得到主動(dòng)補償（主動(dòng)引導）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內實(shí)現高跟蹤精度。

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動(dòng)線(xiàn)性，長(cháng)期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機械和控制器可以根據需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能都會(huì )使用此數據。

 

2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀

PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動(dòng)態(tài)性。標準產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。

平臺也可以在系統中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過(guò)測量記錄進(jìn)行了預校準。 

 

V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅動(dòng)器

用于顯微鏡物鏡的高動(dòng)態(tài)定位器

 

使用PIFOC對目標進(jìn)行Z定位

在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動(dòng)物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。

PIMag®音圈電機