PI (Physik Instrumente)Q-Motion?小型線(xiàn)性平臺Q-522

Q-522 Q-Motion®小型線(xiàn)性平臺

譚晶 QQ：2853369887   手機：18518172492 電話(huà)：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

小尺寸、高分辨率、價(jià)格實(shí)惠的壓電電機

寬僅22毫米、高僅10毫米

最小位移高達2納米

安裝無(wú)需轉接器的Q-622轉臺

采用分辨率高達1納米的增量編碼器實(shí)現直接位置測量

不帶轉接器的XY向安裝

適用于高達10^-6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空達10^-9百帕的版本

壓電慣性驅動(dòng)器

壓電陶瓷慣性驅動(dòng)器為空間節約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅動(dòng)器，其保持力相對較大，行程幾乎是無(wú)限的。慣性驅動(dòng)原理是基于由特殊驅動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉子。由于其慣性，轉子無(wú)法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時(shí)，驅動(dòng)直接作用在動(dòng)輪上，實(shí)現最大為10毫米/秒的速度。

真空和無(wú)磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線(xiàn)性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10^-6百帕。此外，適用于10^-9百帕的超高真空版本也可供貨?？砂葱杼峁┓谴判园姹?/p>

直接測量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線(xiàn)性編碼器的版本。分辨率為4納米或1納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開(kāi)關(guān)

應用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對準, 顯微鏡, 高能束線(xiàn)設備, 半導體技術(shù), 測試

訂購信息

Q-522.000 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為6.5毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10 -6 百帕

Q-522.00U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為6.5毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.030 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為6.5毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.040 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為6.5毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.04U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為6.5毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.100 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為13毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.10U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為13毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.130 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為13毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.140 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為13毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.14U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為13毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.200 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為26毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.20U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為26毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.230 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為26毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.240 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為26毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.24U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為26毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

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