PI (Physik Instrumente)NEXACTOEM小型線(xiàn)性電機/促動(dòng)器N-310

NEXACTOEM小型線(xiàn)性電機/促動(dòng)器

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緊湊，快速，具有長(cháng)行程，PiezoWalk原理

N-310

§ 行程為10至125毫米，動(dòng)輪長(cháng)度可變

§ 緊湊型設計，經(jīng)濟劃算的設計

§ 分辨率達0.03納米

§ 力量生成達10牛

應用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級精度定位

§ 半導體技術(shù)

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場(chǎng)和真空中運動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)實(shí)現納米精度和大進(jìn)給力

數個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅動(dòng)中執行步進(jìn)運動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運動(dòng)。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)線(xiàn)性編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線(xiàn)性效應、機械作用或彈

性形變不會(huì )對測量造成影 響。

適用于復雜真空應用

PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場(chǎng)中運行。驅動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅動(dòng)器 還可用于有較強紫外線(xiàn)輻射的無(wú)塵室或環(huán)境中。

訂購信息

N-310.10

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，10毫米，10牛

N-310.101

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，10毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.11

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，20毫米，10牛

N-310.111

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，20毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.12

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，30毫米，10牛

N-310.121

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，30毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.13

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，50毫米，10牛

N-310.131

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，50毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.14

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，75毫米，10牛

N-310.141

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，75毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.15

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，100毫米，10牛

N-310.151

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，100毫米，10牛，偏移電纜出口

N-310.16

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，125毫米，10牛

N-310.161

NEXACT OEM線(xiàn)性驅動(dòng)器，125毫米，10牛，偏移電纜出口

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