PI (Physik Instrumente)壓電掃描儀P-363

PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動(dòng)態(tài)納米定位系統

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P-363

§ 用于A(yíng)FM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實(shí)現最高精度

§ 并聯(lián)測量技術(shù)可實(shí)現導向誤差的自動(dòng)化 補償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng) 導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可 實(shí)現極低的排氣率。

訂購信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

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