PI (Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺P-587

P-587 六軸精密壓電平臺

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長(cháng)行程，直接位置測量

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線(xiàn)性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 最大旋轉角度達1微弧度

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 六 自由度主動(dòng)補償

應用領(lǐng)域

·         干涉測量

·         計量

·         納米壓印

·         半導體測試

·         半導體制造

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來(lái)最大精度

運動(dòng)直接在運動(dòng)平臺上測量，完全不受驅動(dòng)或導向元件的影響。這樣可以實(shí)現最佳的重復精度、優(yōu)異的穩定性和剛性、快速響應控制。

訂購信息

P-587.6CD

帶長(cháng)行程的六軸納米定位系統，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計量，電容傳感器

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