PI (Physik Instrumente)P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向壓電工作臺

行程可變的高精度XY向納米定位器

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P-620.2 – P-629.2

§ 行程為50至1800微米

§ 分辨率達0.1納米

§ 定位精度 0.02 %

§ 帶電容式傳感器的直接計量

§ X、XY、Z和XYZ型

應用領(lǐng)域

·         干涉測量

·         顯微鏡

·         納米定位

·         生物技術(shù)

·         測試程序和質(zhì)量保證

·         光子

·         光纖定位

·         半導體技術(shù)

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測量帶來(lái)最大精度

運動(dòng)直接在運動(dòng)平臺上測量，完全不受驅動(dòng)或導向元件的影響。這樣可以實(shí)現最佳的重復精度、優(yōu)異的穩定性和剛性、快速響應控制。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

訂購信息

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-620.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-621.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-622.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-625.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-628.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-629.2CD

精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

帶LEMO連接器的版本

P-620.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-621.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-622.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-625.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-628.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-629.2CL

精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

不帶位置傳感器的線(xiàn)性定位器

P-620.20L

精密PIHera XY向納米定位系統，60微米 × 60微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-621.20L

精密PIHera XY向納米定位系統，120微米 × 120微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-622.20L

精密PIHera XY向納米定位系統，300微米 × 300微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-625.20L

精密PIHera XY向納米定位系統，600微米 × 600微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-628.20L

精密PIHera XY向納米定位系統，1000微米 × 1000微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-629.20L

精密PIHera XY向納米定位系統，1800微米 × 1800微米，不帶傳感器，LEMO連接器

線(xiàn)性定位器，真空兼容達10-9百帕

P-620.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-621.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-622.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

P-625.2UD

精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

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精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

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精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10- 9百帕

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