吳亞男
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德國PI直供小型線(xiàn)性平臺Q-521.240
Q-521.240
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為22毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
帶位置控制、分辨率高、價(jià)格實(shí)惠的最小線(xiàn)性平臺
Q-521
Q-Motion®小型線(xiàn)性平臺
? 寬僅21毫米、高僅10毫米
? 采用集成式增量編碼器實(shí)現直接位置測
量
? 編碼器分辨率高達1納米
? 最小位移高達2納米
? 帶接裝板或支架（作為選配件提供）的
多軸系統裝置
? 適用于高達10-
6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空
達10-9百帕的版本
壓電慣性驅動(dòng)器
壓電陶瓷慣性驅動(dòng)器為空間節約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅動(dòng)器，其保持力相對較大，行程幾乎是無(wú)限的。慣
性驅動(dòng)原理是基于由特殊驅動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉子。由
于其慣性，轉子無(wú)法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時(shí)，驅動(dòng)直接作用在動(dòng)輪
上，實(shí)現最大為10毫米/秒的速度。
直接測量原理
可提供帶非接觸式光學(xué)線(xiàn)性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)
開(kāi)關(guān)。
真空和無(wú)磁性環(huán)境
所有Q-Motion®線(xiàn)性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10-6 百帕。此外，適用于10-
9 百帕的超高真空變型也可供貨?？砂葱杼峁o(wú)磁性版本。
應用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對準, 顯微鏡, 高能束線(xiàn)設備, 半導體技術(shù), 測試
訂購信息
Q-521.100
Q-Motion®
小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.130
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.140
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.14U
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.200
Q-Motion®
小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為22毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 32 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.230
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為22毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.24U
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為22毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
Q-521.300
Q-Motion®
小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為32毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 42 ×
10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.330
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為32毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.340
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為32毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕
Q-521.34U
Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為32毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 ×
42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕
德國PI直供小型線(xiàn)性平臺Q-521.240
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