德國PI-P-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺參數

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P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達200 微米 × 200 微米

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 高動(dòng)態(tài)直接驅動(dòng)版本

§ 傳感器技術(shù)：價(jià)格實(shí)惠的應變片傳感器 或可實(shí)現更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實(shí)現更長(cháng)行程

PI應用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 高吞吐量顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 掩模/晶圓定位

§ 干涉測量

§ 測量技術(shù)

§ 生物技術(shù)

§ 顯微操縱

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

直接位置測量帶來(lái)最大精度

運動(dòng)直接在運動(dòng)平臺上測量，完全不受驅動(dòng)或導向元件的影響。這樣可以實(shí)現最佳的重復精度、優(yōu)異的穩定性和剛性 、快速響應控制。

PI訂購信息

P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統，高動(dòng)態(tài)直接驅動(dòng)，45 微米 × 45微米，并聯(lián)運動(dòng)，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動(dòng)，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動(dòng)，電容傳感器，LEMO連接器