瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

　　瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

 

 

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　　1、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品介紹

　　不斷上漲的硅晶片價(jià)格和成品需求意味著(zhù)報廢晶片的成本比以往任何時(shí)候都高。因此，了解您的工藝并監控缺陷已成為半導體制造中心的重中之重。Transpector MPH氣體分析系統旨在為您的所有氣體分析應用提供行業(yè)領(lǐng)先的性能，以幫助最大限度地提高芯片產(chǎn)量并最大限度地減少工具停機時(shí)間。結合較低的總體擁有成本和較高的平均故障間隔時(shí)間，Transpector MPH比市場(chǎng)上任何其他殘留氣體分析儀(RGA)更能幫助您實(shí)現盈利。INFICON利用其在氣體分析過(guò)程控制設備方面的專(zhuān)業(yè)知識，創(chuàng )建了具有行業(yè)領(lǐng)先數據收集速度、最小可檢測分壓和信噪比的RGA。所有這些都不會(huì )犧牲您對INFICON Transpector氣體分析儀所期望的任何可靠性。

　　2、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品概述

　　隨著(zhù)制造技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量標準的變化，了解您的過(guò)程和保持產(chǎn)品質(zhì)量的需求比以往任何時(shí)候都更加重要。Transpector MPS可以通過(guò)監控過(guò)程條件、檢測污染物和檢查泄漏來(lái)幫助您優(yōu)化過(guò)程。Transpector MPS以卓越的價(jià)值為他們的客戶(hù)提供Transpector品牌RGA的強大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種版本，可讓您靈活地執行各種功能，包括常規泄漏檢測、真空診斷和碳氫化合物分析。這種多功能性Transpector MPS成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應用的首選傳感器。

　　3、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品特征

　　新型Transpector XPR 3+殘留氣體分析儀(RGA)提供行業(yè)領(lǐng)先的測量速度，以監測和控制現代半導體和顯示器制造所需的快速過(guò)程變化。Transpector XPR 3+是現場(chǎng)漏氣、氣體純度、碳氫化合物和污染監測的理想選擇。與定期上升率測試相比，使用Transpector XPR 3+進(jìn)行實(shí)時(shí)測量可提供遠超卓著(zhù)的產(chǎn)品保護。Transpector XPR 3+RGA是經(jīng)過(guò)現場(chǎng)驗證的四極桿和雙離子源傳感器，適用于濺射壓力范圍應用。無(wú)需壓力轉換設備、使用壽命長(cháng)的組件以及快速檢測和診斷問(wèn)題的能力相結合，可最大限度地提高工具可用性、產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)量。該傳感器可以從高真空到20 mTorr連續運行，無(wú)需泵。Transpector XPR 3+雙離子源腔室旨在限制涂層以保持離子源靈敏度并延長(cháng)傳感器的平均維護時(shí)間。

　　4、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品原理

　　十多年來(lái)，INFICON Transpector CPM一直是半導體行業(yè)市場(chǎng)領(lǐng)先的殘留氣體分析儀(RGA)過(guò)程監控系統?，F在Transpector CPM 3通過(guò)與新傳感器和電子設備集成的經(jīng)過(guò)現場(chǎng)驗證的泵和入口系統提供行業(yè)領(lǐng)先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3是適用于A(yíng)LD、CVD、PVD和蝕刻等新型和成熟半導體工藝的理想RGA工藝監控器。INFICON Transpector®單壓采樣(SPS)殘留氣體分析儀為目標高壓工藝提供最佳的半晶圓和顯示面板保護。Transpector SPS通過(guò)對單壓力應用最靈敏的漏氣和工藝污染檢測來(lái)最大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供行業(yè)領(lǐng)先的檢測限和測量速度，以確保晶圓和面板的質(zhì)量和數量。Transpector SPS通過(guò)為穩定的高壓過(guò)程提供最可靠的過(guò)程監控來(lái)最大化過(guò)程吞吐量和產(chǎn)量。

　　5、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品優(yōu)勢

　　儀器將簡(jiǎn)單且經(jīng)濟高效的入口系統與經(jīng)過(guò)現場(chǎng)驗證的離子源和泵組相結合，提供低風(fēng)險和高回報的氣體分析解決方案。適用于一般真空和工業(yè)應用，Transpector SPS是真空電弧重熔(VAR)等冶金和熱處理應用的成熟解決方案。Transpector SPS是可配置的，可以根據特定應用和預算進(jìn)行定制。對于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過(guò)程壓力，可選擇標準孔板、毛細管和旁路管線(xiàn)組合。耐腐蝕的入口、離子源和泵組件專(zhuān)為在蝕刻、CVD、ALD和其他腐蝕性氣體工藝中的生存而設計。

　　6、瑞士INFICON分析儀部分產(chǎn)品型號

　?、偃鹗縄NFICONTranspectorMPH

　?、谌鹗縄NFIConTranspector MPS

　?、廴鹗縄NFIConTranspectorXPR 3+

　?、苋鹗縄NFIConTranspectorCPM 3

　?、萑鹗縄NFICONTranspectorSPS

　?、奕鹗縄NFICONTranspectorCPM

　?、呷鹗縄NFIConQMG 700

　?、嗳鹗縄NFIConInficon Quantus LP100

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