Busch羅茨真空泵TYR WT 0150 CV參數
吳亞男小組
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體積流量480–808 m³/h；
最大壓差 (hPa (mbar))+1000 hPa (mbar)；
電機額定功率18.5 kW；
風(fēng)機轉速4700 min?¹；
進(jìn)氣口尺寸Ø114mm；
重量（約）197kg；
Busch型號
Busch真空泵油VM1001L
Busch真空泵R5 RB 0006 E
Busch排氣過(guò)濾器0532140159
Busch真空泵維修包RA0250D（WHB-B250D）
Busch泵RB0006 NO.00046872
Busch羅茨真空泵TYR WT 0280 CV
Busch泵+電機7AA80N-4K B-14RA0010.C.303
Busch真空泵RA0100F503
TORRI多級羅茨真空泵
TORRI 多級羅茨真空泵可為抽空 load lock 腔體提供結構緊湊、高效節能的解決方案。
該泵具有低極限壓力和出色腔體抽真空時(shí)間等特點(diǎn)。
TORRI多級羅茨真空泵工作原理
TORRI BD 真空泵依據久經(jīng)考驗的旋轉轉子原理進(jìn)行工作。通過(guò)轉子的旋轉運動(dòng)，泵送介質(zhì)被一級級輸送至出口。
由于轉子具有特殊輪廓且采用精密工藝制造，它們不會(huì )彼此觸碰或觸碰到殼體。此外，壓縮腔內無(wú)需添加任何潤滑液或工作液。
轉子由直接耦合連接的同步水冷型電機驅動(dòng)。
TORRI BD
用于 load lock 腔體的緊湊、高效解決方案
低振動(dòng)、低噪聲級
重量輕盈
尺寸小巧
采用干式和非接觸式工作原理
使用壽命長(cháng)
總擁有成本低
TORRI BD 系列的優(yōu)勢
TORRI BD 是市場(chǎng)上小尺寸、低重量的 高效 干式多級羅茨真空泵之一。因此，該款真空泵是用于抽空 load lock 腔體的理想解決方案。
依托其久經(jīng)驗證的工作原理，它們可以實(shí)現 低極限壓力 。其出色的腔體抽真空時(shí)間進(jìn)一步縮短了總平均循環(huán)周期。
完全開(kāi)放的通信協(xié)議 (Modbus RTU) 可以使用標準接口組件輕松適用特定的網(wǎng)絡(luò )協(xié)議。
選配的 LCD 控制器可以 輕松監控 真空泵的狀態(tài)?？梢燥@示所有相關(guān)參數，如電機溫度、電機電流、冷卻水流量和泵體溫度。
Busch羅茨真空泵TYR WT 0150 CV參數
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