Physik Instrumente P-563.3CL納米級三軸定位系統 微加工 干涉測量等領(lǐng)域廣泛使用

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Physik Instrumente P-563.3CL納米級三軸定位系統 微加工 干涉測量等領(lǐng)域廣泛使用

德國PI Physik Instrumente  多軸壓電陶瓷掃描儀
 PI 不僅開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)用于線(xiàn)性、旋轉和垂直運動(dòng)或不同軸組合的各種定位平臺和執行器。 

PI 還根據客戶(hù)特定應用調整這些解決方案，或提供用于運動(dòng)和定位的成品子系統。

控制是重要的系統組件，也由 PI 提供。這不僅提供了復雜的控制概念，而且還為應用環(huán)境提供了硬件和軟件接口。

無(wú)論是標準產(chǎn)品還是全新開(kāi)發(fā)產(chǎn)品，無(wú)論是 OEM 驅動(dòng)器還是集成系統，我們的目標始終是為每種可能的應用提供最佳解決方案。

2軸和3軸版本（XY和XYθZ型）

§ 行程達200 微米

§ 亞納米級分辨率

應用領(lǐng)域

·         計量

·         干涉測量

·         光子學(xué)/集成光學(xué)

·         平版印刷術(shù)

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對準

·         微加工

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。 

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

P-517.2CL

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

P-517.2CD

精密XY向納米定位系統，100 微米 × 100微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-527.2CL

精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，LEMO連接器

P-527.2CD

精密XY向納米定位系統，200 微米 × 200 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-517.3CL

精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-517.3CD

精密XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-527.3CL

精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-527.3CD

精密XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 20 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-517.RCD

精密XY向/旋轉納米定位系統，100 微米 × 100 微米，2 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-527.RCD

精密XY向/旋轉納米定位系統，200 微米 × 200 微米，4 毫弧度，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

P-561 • P-562 • P-563 PIMars納米定位平臺

用于多達3軸的高精度納米定位系統

§ 并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現更快的響應時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 行程達300 × 300 × 300微米

§ 電容式傳感器帶來(lái)最高線(xiàn)性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 高動(dòng)態(tài)XYZ版本

§ 通孔尺寸66 毫米×66毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽 命

§ 超高真空版本達10-9百帕

描述

應用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測量

·         測量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         掃描和篩選

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(cháng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

P-561.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-561.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，100 微米 × 100 微米 × 100 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-561.3DD

PIMars高動(dòng)態(tài)XYZ向納米定位系統，45 微米 × 45 微米 × 15 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器，直接驅動(dòng)

P-562.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-562.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，200 微米 × 200 微米 × 200 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

P-563.3CD

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，Sub-D連接器，電容傳感器，平行計量

P-563.3CL

具有長(cháng)行程的PIMars XYZ向納米定位系統，300 微米 × 300 微米 × 300 微米，LEMO連接器，電容傳感器，平行計量

Physik Instrumente P-563.3CL納米級三軸定位系統 微加工 干涉測量等領(lǐng)域廣泛使用