德國ATL LASER激光器ATLEX-500-L-KrF技術(shù)指導
王子豪
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公司介紹：
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年，并于1994年通過(guò)開(kāi)發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術(shù)方面取得了突破。ATL通過(guò)幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念，如今，ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專(zhuān)利的預電離和放電技術(shù)引領(lǐng)世界。ATL繼續開(kāi)發(fā)緊湊型短脈沖準分子激光器，并保持該領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。
產(chǎn)品系列示例：
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
產(chǎn)品特點(diǎn)：
延長(cháng)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命
風(fēng)冷/可選液冷
用于系統集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學(xué)支架
便于氣體處理的集成4閥系統
能量穩定模式
動(dòng)態(tài)風(fēng)扇速度控制
德國ATL LASER 型號：ATLEX-500-L-KrF
氣體介質(zhì)：KrF
波長(cháng)：248nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù)：固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量：15mJ
最大平均功率：6.5W
最大重復率：500Hz
脈沖持續時(shí)間：5–8ns
尺寸：6x4mm
光束發(fā)散：2x1mrad
能量穩定性：<2%
尺寸：600x415x567mm
重量：70kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/10A/1Phase/50-60Hz
德國ATL LASER激光器ATLEX-500-L-KrF技術(shù)指導
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