用于半導體生產(chǎn)中晶圓處理的伸縮式氣缸系統
專(zhuān)用鍍膜機用于在硅盤(pán)，晶圓上高真空生產(chǎn)半導體。大約數千個(gè)半導體可以位于一個(gè)12英寸晶圓上。對于不同的工藝，晶圓必須在機器內部移動(dòng)幾次。直徑為 180 mm 和 280 mm 的伸縮式氣缸位于機器中的環(huán)形位置，并在每個(gè)周期后切換，用于處理晶圓。該過(guò)程所需的不同介質(zhì)通過(guò)活塞桿。
6、應用程序關(guān)系.sys。工程
我們在設計和實(shí)施流體工程系統方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
帶集成球導軌的氣缸系統，用于半導體生產(chǎn)中的晶圓處理
該圓柱體系統在半導體生產(chǎn)過(guò)程中定位打印掩模。外殼由一個(gè)塊加工而成。集成的滾珠導軌可實(shí)現兩個(gè)氣缸的最高精度和再現性。氣缸的多個(gè)位置可以通過(guò)集成傳感器進(jìn)行監控?？烧{節的終端位置阻尼器可確保無(wú)振動(dòng)工作。
7、應用程序關(guān)系.sys。工程
我們在設計和實(shí)施流體工程系統方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
多缸體，設計緊湊
該缸體用于裝配自動(dòng)化系統。由于與給定的中心線(xiàn)距離相結合的力增加，因此無(wú)法使用標準氣缸。氣缸孔按照定制的特定距離制造。氣缸位置可以通過(guò)盲板單獨淡出。磁簧活塞和用于干簧傳感器的安裝槽可實(shí)現精確的終端位置監控。
8、應用程序關(guān)系.sys。工程
我們在設計和實(shí)施流體工程系統方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
用于刀具夾緊的高溫氣缸
該氣缸的最高工作溫度為 300 °C。 它們驅動(dòng)夾緊系統，用于固定用于熱處理的零件。因此，氣缸被沖出，驅動(dòng)夾緊機構，然后氣缸減壓。內部鎖定機構將桿鎖定在前端位置。氣缸與夾緊系統一起加熱至300°C的溫度。 特殊的密封和潤滑系統保證了長(cháng)期使用。
9、應用程序關(guān)系.sys。工程
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用于彈性體噴射成型鑄造的鼓風(fēng)筒
當噴射成型大型彈性體部件時(shí)，鑄件通過(guò)加壓空氣從鑄造模具表面吹出。氣缸保持送氣孔在施加壓力時(shí)保持關(guān)閉。為了吹掉零件，氣缸被向后沖并打開(kāi)內部供應孔。氣缸不旋轉，以確保氣缸和模具表面之間的正確位置
10、應用程序關(guān)系.sys。工程
我們在設計和實(shí)施流體工程系統方面非常靈活。無(wú)論是在壓力產(chǎn)生和處理領(lǐng)域，還是在驅動(dòng)、控制和移動(dòng)領(lǐng)域。
用于磨臺移動(dòng)的 4 級伸縮式油缸
為了提升磨床的磨臺，使用這種單作用伸縮式氣缸中的4個(gè)。在最小高度為120 mm時(shí)，該氣缸可提供260 mm的行程。為避免通過(guò)研磨水腐蝕，氣缸的所有部件都涂有涂層。
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