MLI 準分子激光
MLI系列設備為工業(yè)應用提供直接波長(cháng)的準分子激光器。當然,如果需要,基本單元可以根據個(gè)人需求進(jìn)行調整。
劉超
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MLI-200 / 500 / 1000 準分子激光
MLase 的現代緊湊型準分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脈沖能量高達 16 mJ,重復頻率高達 1,000 Hz
市場(chǎng)上具有最高使用壽命和可靠性以及最低擁有成本的獨立設備。由于光束輪廓均勻,能量穩定,適用于要求苛刻的應用。
帶有附加LC的準分子激光器還可以進(jìn)行主動(dòng)水冷(通過(guò)生活用水或外部熱交換器;無(wú)去離子水),以實(shí)現穩定的連續運行。
波長(cháng)(納米)
193 193 193 248 248 248
重復頻率(赫茲)
200 500 1000 200 500 1000
穩定的
脈沖能量 (mJ)
6 6 6 10 10 10
穩定平均功率 (W)
1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10
脈沖穩定性(西格瑪 %)
2 2 2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,VxHmm)
6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3
光束發(fā)散(FWHM,VxHmm) 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1
脈沖長(cháng)度
5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15
MLI-500 / 1000 準分子激光 LC
波長(cháng)(納米)
193 193 248 248
重復頻率(赫茲)
500 1000 500 1000
穩定的脈沖能量 (mJ) 6 6 10 10
穩定平均功率 (W)
3,0 6,0 5,0 10
脈沖穩定性(西格瑪 %)
2 2 2 2
光束尺寸(FWHM,VxHmm)
6×3 6×3 6×3 6×3
光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)
2×1 2×1 2×1 2×1
脈沖長(cháng)度
5-10 5-10 5-15 5-15