COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP用于半導體廣播

COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 

專(zhuān)為在動(dòng)態(tài)負載下實(shí)現最高穩定性而設計。

cito Plus 提供脈沖質(zhì)量、穩定性和功率測量精度，使其成為等離子體沉積和蝕刻應用以及非半導體應用的選擇。

正常運行時(shí)間長(cháng) - 專(zhuān)注于吞吐量和降低運營(yíng)成本

精度、可重復性和穩定性的價(jià)值 - 滿(mǎn)足您的工藝要求

更高的電源效率 - 更好的經(jīng)濟性和環(huán)保型

cito Plus系列特征

對稱(chēng)開(kāi)環(huán)響應

高精度功率控制

脈沖高達 100 kHz

具有可變相位延遲的 CEX

CEX 輸出分頻器

符合 SEMI 標準

cito Plus系列好處

可預測的等離子體行為

輕松的系統集成

可重復的晶圓結果

在任何電纜長(cháng)度下都能保持穩定

在任何負載下均具有出色的脈沖形狀

與大多數生產(chǎn)設備兼容

citoPlus 136-ACNA-N25A-FP 技術(shù)參數

訂貨號 64001035 

系列 cito Plus 

頻率 13.56 MHz

射頻功率 600 瓦

脈沖 是的

前面板 積極

現場(chǎng)總線(xiàn) 沒(méi)有

模擬接口 25 針

匹配網(wǎng)絡(luò )接口 AGS 系列

交流輸入 187 至 265 VAC 

冷卻 空氣

射頻輸出連接器 N 型

COMET射頻發(fā)生器citoPlus 136-ACNA-N25A-FP