ess-mikromechanik壓力真空空氣軸承 DVL-50

DVL系列產(chǎn)品描述

真空預緊的空氣平面軸承通過(guò)同時(shí)進(jìn)行吸力和排斥力固定在導向面上。通過(guò)專(zhuān)門(mén)調整壓力和真空度，空氣軸承的實(shí)際飛行高度和

取決于空氣軸承的剛度可以得到最佳調整，并適應相應的應用。此外，由于所述調整選項，該空氣軸承具有在垂直方向

上在亞微米范圍內發(fā)生位置變化的效果。

DVL系列技術(shù)描述

行程無(wú)限制

負載能力見(jiàn)表

駕駛-

控制-

安裝位置 任意

最大工作壓力 5 bar

工作溫度 15 至 35°C

儲存溫度 2 至 40°C

能力特點(diǎn)

可調節的剛度，亞微米范圍內的位置變化良好的泄氣保用特性。

有針對性地調整壓力和真空，實(shí)現最佳剛度

這些方便的動(dòng)力裝置通過(guò)同時(shí)抽吸（真空）和推出（壓力）實(shí)現剛度的單獨調整值。

尺寸

底座直徑（A）50mm

底座高度（B）25mm

C 13.5mm

D 29mm

G M10x1，M12x1 

負載能力  375N

兼容組件

空氣軸承線(xiàn)性裝置構成了亞微米范圍內所有運動(dòng)軸的基本組成部分。它們由不同的材料制成，具有高的精度。

由于這些組件彼此兼容，因此存在大量可能的變體。這些也是我們的客戶(hù)可以使用的這個(gè)精度等級中全面的

超精密導軌系統系列的基礎。

ess-mikromechanik壓力真空空氣軸承 DVL-50

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