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德國PI 空氣軸承和位移臺A-110 PIglide LC線(xiàn)性平臺，帶空氣軸承

特點(diǎn)：

·         掃描應用或高精度定位的理想選擇

·         潔凈室兼容

·         運動(dòng)平臺尺寸160毫米×200毫米

·         行程范圍達400毫米

·         負載能力達100 N

產(chǎn)品總覽

PIglide定位系統具有電磁線(xiàn)性電機，磁性預加載的空氣軸承和光學(xué)線(xiàn)性編碼器：非接觸和無(wú)摩擦運動(dòng)，可提供最高的準確性和可靠性

應用領(lǐng)域

PIglide定位系統非常適合許多高精度應用，例如半導體或平板顯示器制造中的計量，光子學(xué)和精密掃描。

由于無(wú)摩擦運動(dòng)，不會(huì )形成任何顆粒，這使PIglide工作臺非常適合無(wú)塵室應用。

配件和選件

·         編碼器

·         PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件

·         單軸和多軸運動(dòng)控制器

·         XY設置和個(gè)別配置

·         花崗巖制底板和減振系統