德國PI (Physik Instrumente)P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動(dòng)器長(cháng)達十倍。它們被證明可實(shí)現無(wú)故障運行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

楊文輝 QQ：2850590598   手機：18301216381 電話(huà)：010-64717020-118 傳真：010-84786709-666 郵件：sales11@handelsen.cn

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

皮米級精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

§ 用于A(yíng)FM / SPM的高線(xiàn)性?huà)呙鑳x

§ 分辨率高達20皮米，滯后小于1 納米

§ 閉環(huán)驅動(dòng)概念帶來(lái)最高帶寬

§ 用于生物技術(shù)/納米技術(shù)的最高精度操 縱工具

§ 諧振頻率為4.0千赫茲（X、Y）、11 千 赫茲 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

應用領(lǐng)域

·         掃描探針顯微鏡

·         原子力顯微鏡

·         掃描和篩選

并聯(lián)運動(dòng)實(shí)現高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運動(dòng)平臺。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設計，可實(shí)現快速、動(dòng)態(tài)和精密的運動(dòng)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

訂購信息

P-313.30L

高線(xiàn)性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開(kāi)環(huán)，LEMO連接器

P-313.30D

高線(xiàn)性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開(kāi)環(huán)，Sub-D連接器

P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

用于掃描探針顯微鏡的高動(dòng)態(tài)納米定位系統

§ 用于A(yíng)FM / SPM的超高性能閉環(huán)掃描儀

§ 用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操縱工具

§ 諧振頻率9.8千赫茲

§ 電容式傳感器可實(shí)現最高精度

§ 并聯(lián)測量技術(shù)可實(shí)現導向誤差的自動(dòng)化 補償

§ 分辨率50皮米

§ 行程5微米×5微米×5微米

§ 真空兼容版本

應用領(lǐng)域

·         掃描探針顯微鏡

·         原子力顯微鏡

·         掃描和篩選

零間隙柔性鉸鏈導向帶來(lái)高導向精度

柔性鉸鏈導向無(wú)需維護、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤滑。它們的剛性可實(shí)現高負載能力，且它們對沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動(dòng)串擾均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補償（取決于帶寬）（主動(dòng)導向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

帶電容式傳感器，實(shí)現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運動(dòng)線(xiàn)性、長(cháng)期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動(dòng)時(shí)，數字控制器的自動(dòng)校準功能就會(huì )使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤滑劑或潤滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統可實(shí)現極低的排氣率。

訂購信息

P-363.2CD

PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL

PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

P-363.3CD

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.3CL

PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器