PI (Physik Instrumente)PICMAWalk 步進驅動器N-331

PICMAWalk 步進驅動器

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用于速度高達15毫米/秒、推拉力高達50牛的持久應用的OEM步進驅動器

N-331

§ 帶PICMA技術可實現超級耐久性的穩健 型且可用于工業的步進驅動

§ 其尺寸級別中最快、最強的驅動器

§ 動輪長度的變化范圍為25毫米至100 毫 米

§ 重達5公斤的負載的精確、納米級精度 定位

§ 即插即用型，得益于PI專有的控制器技 術

應用領域

§ 工業級精度定位

§ 半導體技術

§ 半導體測試

§ 晶圓檢測

§ 平版印刷術

§ 納米壓印

§ 納米測量

§ 強磁場和真空中運動

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分 辨率進行最小步進和推進運動。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復雜真空應用 PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器 還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。

訂購信息

N-331.10

壓電步進驅動器PICMAWalk，行程為25毫米，開環，推/拉力為50牛

N-331.13

壓電步進驅動器PICMAWalk，行程為25毫米，增量傳感器，推/拉力為50牛

N-331.20

壓電步進驅動器PICMAWalk，行程為50毫米，開環，推/拉力為50牛

N-331.23

壓電步進驅動器PICMAWalk，行程為50毫米，增量傳感器，推/拉力為50牛

N-331.40

壓電步進驅動器PICMAWalk，行程為100毫米，開環，推/拉力為50牛

N-331.43

壓電步進驅動器PICMAWalk，行程為100毫米，增量傳感器，推/拉力為50牛

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PI (Physik Instrumente)PICMAWalk 步進驅動器N-331