德國PI納米定位平臺P-562.6CD具有6個運動軸精度更高

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自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術領域的優質制造商。PI開發和生產用于線性、旋轉和垂直運動或不同軸組合的各種定位平臺和致動器。從精密機械和電子技術到位置傳感器技術，以及子公司 PI Ceramic 開發的壓電陶瓷和致動器。我們開發的技術包括從基本解決方案到特定應用版本。

主要產品：

PI納米定位壓電撓性平臺

PI微型位移臺

PI線性位移臺

PI線性致動器

PI旋轉位移臺

PI六足位移臺

P-518 - P-528 - P-558 壓電 Z/尖端/傾斜平臺 大孔徑，高動態

帶 3 軸的 Z 軸和尖端/傾斜平臺/帶 1 軸的 Z 軸平臺

Z 軸/尖端/傾斜角的行程范圍為 200 µm / 2 mrad，閉環（開環為 240 µm / 2.4 mrad）

平行運動學，響應時間更快，多軸精度更高

零間隙、高精度撓性導軌系統

采用 PICMA® 壓電執行器，使用壽命長

66 毫米 × 66 毫米的凈空孔徑

電容式傳感器實現高線性度

P-562.6CD PIMars 6 軸納米定位平臺 具有 6 個自由度的高精度納米定位器

6 個運動軸： 3 × 線性、3 × 旋轉

線性移動范圍達 200 µm，尖端/傾斜角度達 1 mrad

平行運動學，響應時間更快，多軸精度更高

采用電容式傳感器，線性度最高

零間隙、高精度撓性導軌系統

出色的掃描平面度

66 毫米 × 66 毫米的透明孔徑

采用 PICMA® 壓電致動器，使用壽命長

超高壓兼容至 10-9 hPa

型號示例：

PI納米定位平臺P-562.6CD

PI納米定位平臺P-518

PI納米定位平臺P-528

PI納米定位平臺P-558

PI納米定位平臺P-527

PI納米定位平臺P-517

PI納米定位平臺P-563

PI納米定位平臺P-562

PI納米定位平臺P-561

PI納米定位平臺P-733.3

德國PI納米定位平臺P-562.6CD具有6個運動軸精度更高