Physik Instrumente-N-765 精密Z向位移臺參數

 Physik Instrumente-N-765 精密Z向位移臺參數

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·         采用PIOne增量編碼器實(shí)現直接測量，分辨率為0.5納米

·         最小位移達1納米

·         行程為6.5毫米

·         負載能力達25牛

·         可以直接安裝在N-565線(xiàn)性定位器上

 Instrumente-N-765 精密Z向位移臺參數 

NEXACT®參考級線(xiàn)性定位器

帶NEXACT® PiezoWalk®驅動(dòng)器的線(xiàn)性定位器可實(shí)現較長(cháng)行程范圍內的納米級高精度定位。其配置直接測量線(xiàn)性編碼器和交叉滾柱軸承，可實(shí)現最高精度。緊湊、扁平的設計使定位器能輕松實(shí)現機械集成。工作所需電壓低。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率、低磨損

PiezoWalk®技術(shù)將壓電陶瓷促動(dòng)器與壓電電機的技術(shù)優(yōu)勢結合在一起。PiezoWalk®步進(jìn)驅動(dòng)器不僅能提供亞納米級分辨率、較大的力和高剛性，而且根據其驅動(dòng)原理，其還能實(shí)現理論上無(wú)限的行程。不同于其他壓電機動(dòng)化驅動(dòng)器原理，PiezoWalk®步進(jìn)驅動(dòng)器不受滑動(dòng)摩擦作用的影響。其是基于幾個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器的靜摩擦接觸，這幾個(gè)促動(dòng)器沿一個(gè)動(dòng)輪步進(jìn)。前饋時(shí)，促動(dòng)器被從動(dòng)輪處物理提升，幾乎不會(huì )造成任何磨損。在促動(dòng)器上相對于動(dòng)輪施加預載可確保步進(jìn)驅動(dòng)器自鎖。因此，步進(jìn)驅動(dòng)器靜止狀態(tài)下將保持位置，關(guān)機時(shí)可實(shí)現機械穩定（無(wú)伺服抖動(dòng)）。靜止狀態(tài)自鎖，無(wú)能量消耗，無(wú)熱量產(chǎn)生。

帶PIOne線(xiàn)性編碼器用于直接位置測量

高分辨率PIOne編碼器由PI研發(fā)，在對測量數據進(jìn)行相應處理后，可實(shí)現遠低于1納米的位置分辨率。光學(xué)非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動(dòng)平臺上進(jìn)行實(shí)際位置測量，因此非線(xiàn)性效應、機械作用或彈性形變不會(huì )對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米，信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線(xiàn)性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時(shí)支持方向感應。

 

訂購信息

Q-521,100 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，不帶用于開(kāi)環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521.130 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521,140 Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-521.14U Q-Motion® 小型線(xiàn)性平臺，壓電慣性驅動(dòng)，行程為12毫米，線(xiàn)性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為21 × 30 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

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